硅烷SiH4管道采用双套管连接方式，内管使用SS316L EP（电子抛光）不锈钢管，外管采用SS316LBA不锈钢管，三通采用成品双套三通，弯头为套管自动焊接，内外管道连接采用自动轨道氩弧焊；设备、阀门无法兰、卡套或螺纹连接； 
  不锈钢管应采用氩弧焊，为防止管道内壁产生氧化膜及尘埃粒子侵入，应通入经0.01μm～0.03μm过滤器过滤的洁净氩气作保护；管道连接暂停施工时，应充氮气保护，管头应用塑料管帽封堵； 

 管道系统试压规定及要求 
   1、强度实验：实验压力0.6Mpa，实验介质为高纯氮气，10min内压力不降为合格； 
   2、严密性实验：实验压力0.5Mpa，实验介质为高纯氮气，实验时间30min，压力不降为合格； 
   3、氦检测试：试验介质为高纯氦气，泄露率1*10-9 atm.cc/sec 

    我公司专业从事气路管路的设计、改造、预算、安装调试等服务，实验室气路、实验室集中供气系统、实验室气路管道、实验室气体管路工程、工业气路、气体管路、高纯气体等，可根据客户需要及实验室现场状况，为您提供系统地解决方案，优质的产品，并且提供各种安全保护系统，其中实（试）验室气体管路系统包括实验室集中供气系统和室内气瓶供气系统，可以满足您不同等级要求的气体安全使用。我们将完善的售后服务，欢迎您来电咨询！

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